ÌÇĐÄÍűÒł°æ

30 januari 2025

Framtidens elektronik kan bli ännu mindre och mer effektiv genom att fler minnesceller får plats på mindre yta. Ett sätt att uppnå det är att tillsätta ädelgasen xenon vid tillverkningen av digitala minnen. Det har forskare vid Linköpings universitet visat i en studie publicerad i Nature Communications. Tekniken möjliggör en jämnare materialbeläggning även i små hålrum.

Person hÄller en liten glÀnsande skiva med pincett. Fotograf: Olov Planthaber
Forskare i Henrik Pedersens grupp vid Linköpings universitet har skapat en teknik som möjliggör en jämnare materialbeläggning även i små hålrum när halvledarkomponenter skapas.

För 25 Ă„r sedan kunde ett minneskort till en kamera hĂ„lla 64 megabyte information. Idag kan samma fysiska storlek pĂ„ minneskorten hĂ„lla 4 terabyte – över 60 000 gĂ„nger mer information.

En elektronisk lagringsplats, som tillexempel ett minneskort, skapas genom att hundratals tunna lager av omvÀxlande ett elektriskt ledande och ett isolerande material varvas. Sedan etsas mÀngder av mycket smÄ hÄl igenom lagren. Avslutningsvis fylls hÄlen med ett ledande material. DÄ anvÀnds en teknik dÀr Ängor av olika Àmnen anvÀnds för att skapa tunna materiallager.

Fler hÄl ger mer minne

I varje punkt dÀr de tre olika materialen möts i hÄlen skapas minnesceller. Tillsammans bildar minnescellerna ett digitalt minne. Ju fler mötespunkter desto mer information kan lagras i minne. Det innebÀr att fler lager med tunnare hÄl och fler hÄl leder till fler minnesceller. Men det gör det ocksÄ svÄrare att fylla hÄlet.

Henrik Pedersen.
Henrik Pedersen, professor i oorganisk kemi vid Linköpings universitet.Fotograf: Olov Planthaber
– Problemet Ă€r att fĂ„ ner materialet i hĂ„len och belĂ€gga ytan inuti hĂ„let jĂ€mt. Man vill inte att det blir mer material vid öppningen pĂ„ hĂ„let – det kloggar igen öppningen och man kan inte fylla resten av hĂ„let. Molekylerna som bĂ€r med sig atomerna för materialet mĂ„ste kunna komma hela vĂ€gen ner i botten, sĂ€ger Henrik Pedersen, professor i oorganisk kemi vid Linköpings universitet.

För att förstÄ utmaningen kan man jÀmföra hÄlen som ska fyllas med vÀrldens högsta byggnad, Burj Khalifa i Dubai, pÄ 828 meter. HÄlen som ska fyllas Àr 100 nanometer i diameter och 10 000 nanometer djupa. FörhÄllandet Àr alltsÄ 100 till 1. Om samma förhÄllande skulle gÀlla för Burj Khalifa som för hÄlen skulle tornet endast vara Ätta meter brett i basen.

Xenon "knuffar" molekyler

Det forskarna vid Linköpings universitet nu gjort Àr att tillsÀtta en tung Àdelgas, xenon, under sjÀlva belÀggningsprocessen vilket gjorde att materialet fick samma tjocklek i botten som i toppen av ett hÄl.

Person i labbrock i labb.
Henrik Pedersen i CVD-labbet pÄ Campus Valla.Fotograf: Olov Planthaber
Den idag vanligaste metoden för att lyckas med det Àr att sÀnka temperaturen rejÀlt. DÄ gÄr de kemiska reaktionerna lÄngsammare, men det leder ocksÄ ofta till att materialet fÄr sÀmre egenskaper. Genom att tillsÀtta xenon kunde forskarna anvÀnda tillrÀckligt hög temperatur för att fÄ riktigt bra materialkvalitet.

– Vi vet inte exakt hur det faktiskt fungerar Ă€n. Vi tror att xenongasen hjĂ€lper till att ”knuffa” ner molekylerna i hĂ„let. Det var ett genidrag av min doktorand Arun Haridas Choolakkal. Han hade studerat nĂ„gra grundlĂ€ggande formler för hur gaser rör sig och lade fram hypotesen att detta borde funka. Tillsammans satte vi upp ett antal experiment för att testa, och det funkade, sĂ€ger Henrik Pedersen.

Forskarna har tagit patent pÄ tekniken och sedan sÄlt patentet vidare till ett företag i Finland som nu har ansökt om patent i flera lÀnder.

– Det var ett sĂ€tt att hĂ„lla patentet levande och företaget har resurserna att utveckla det vidare. Jag tror att tekniken har en god chans att bli branschstandard, sĂ€ger Henrik Pedersen.

Studien finansierades av VetenskapsrÄdet samt via den svenska regeringens strategiska satsning pÄ forskning inom avancerade funktionella materiel, AFM, vid Linköpings universitet.

Artikeln: , Arun Haridas Choolakkal, Pentti Niiranen, Samira Dorri, Jens Birch, Henrik Pedersen, Nature Communications 15, 10667 (2024), publicerad online 11 december 2024. DOI: 10.1038/s41467-024-55007-1

En iriserande fyrkant pÄ ett nÀt.
Olov Planthaber

Kontakt

Forskningsmiljö

Strategiskt forskningsområde

Senaste nytt från LiU

TvÄ mÀn, en kvinna.

Årets hårdrock med en klang av LiU-röster

Linköpings universitets körsångare har satt en ny musikalisk milstolpe. Vid 2026 års Grammis utsågs Ghost till Årets hårdrock/metal – där LiU-körernas insats på senaste albumet nu lyfts fram som en del i framgången.

En man sitter pÄ marken framför ett trÀd.

Fjärilsforskare får Sveriges största lärarpris

Redan som sexåring började han samla på fjärilar. I lågstadiet visste han att han ville blir fjärilsforskare. Karl-Olof Bergman är läraren som tar studenterna och problemen ut i naturen. Nu belönas han med Sveriges största lärarpris.

TvÄ mÀn spelar ett videospel i ett rum.

Fler än hälften kuggar körprovet – ny metod kan förbättra bedömningen

Fler än hälften av alla som gör körprov i Sverige underkänns. Nu visar en uppsats från Linköpings universitet hur körsimulatorer med eye tracking kan användas för att upptäcka riskfyllda förare redan före uppkörningen.